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硅铝靶材 SiAl
公司生产的硅铝靶材采用先进的热等静压工艺和热喷涂工艺生产，产品包括矩形靶、圆弧靶和管靶等类型，具有成分比例范围宽（铝含量为10at%~90at%）、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。
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硅铝靶材 SiAl
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产品描述
公司生产的硅铝靶材采用先进的热等静压工艺和热喷涂工艺生产，产品包括矩形靶、圆弧靶和管靶等类型，具有成分比例范围宽（铝含量为10at%~90at%）、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。硅铝靶材典型的成分比例有90:10wt%、70:30wt%等，也可按照客户要求定制特殊成分和规格靶材。
Our silicon-aluminum target including rectangular target, arc target and tube target is manufactured by hot isostatic pressing and thermal spraying technology and has the advantages of wide range of component (The content of aluminum is 10% ~ 90at%), high purity and density, fine and uniform grain size and long service life. The typical component of silicon-aluminum target is 90:10wt%, 70:30wt% and so on. The silicon-aluminum target of special component and specification can also be customized according to the customer's requirements.
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硅铝靶 |
性能 |
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化学成分/at% |
Si90Al10 |
Si70Al30 |
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纯度/% |
99.8 |
99.8 |
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密度/g/cm3 |
≥2.31 |
≥2.41 |
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晶粒度/μm |
≤100 |
≤100 |
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金属杂质总和/ppm |
≤2000 |
≤2000 |
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规格尺寸/mm |
平面靶 |
热等静压 |
热等静压 |
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旋转靶 |
热喷涂成形 |
热喷涂成形 |
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SiAl (90:10 wt%)
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成分(elements) |
硅(Si) |
铝（Al） |
铁（Fe） |
铜(Cu) |
锰（Mn) |
碳(C) |
钙（Ca） |
氧(O) |
氮(N) |
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测 试 值（wt%)（Test values） |
90.19 |
9.66 |
≤0.074 |
0.002 |
0.002 |
0.04 |
0.002 |
≤0.04 |
0.04 |
|
密度（g/cm3）（Density) |
2.36 |
||||||||
SiAl (70:30 wt%)
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成分(elements) |
硅(Si) |
铝（Al） |
铁（Fe） |
铜(Cu) |
锰（Mn) |
碳(C) |
钙（Ca） |
氧(O) |
氮(N) |
|
测 试 值（wt%)（Test values） |
70.81 |
28.93 |
≤0.071 |
0.002 |
0.002 |
0.04 |
0.002 |
≤0.05 |
0.04 |
|
密度（g/cm3）（Density) |
2.42 |
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关键词：
铬靶材,铬靶
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公司地址：北京市平谷区熊儿寨乡东路16号