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钛铝靶材 TiAl

公司生产的钛铝靶材采用先进的真空热压、热等静压工艺生产,产品包括矩形靶、圆弧靶和大长径比整体成形管靶等类型,具有成分比例范围宽(铝含量为10at%~90at%)、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。

所属分类:

钛铝靶材 TiAl


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产品描述

公司生产的钛铝靶材采用先进的真空热压、热等静压工艺生产,产品包括矩形靶、圆弧靶和大长径比整体成形管靶等类型,具有成分比例范围宽(铝含量为10at%~90at%)、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。钛铝靶材典型的成分比例有33:67at%、50:50at%、30:70at%、70:30at%、20:80at%、40:60at%、50:50at%等,也可按照客户要求定制Ti-Al-X(X=Si、Cr、Y、B、V)等特殊成分和规格的靶材,目前钛铝硅典型成分有30:60:10at%、40:40:20at%、28:52:20at%、45:45:10at%。

 

Our titanium-aluminum target including rectangular target, arc target and large aspect ratio integral forming tube target is manufactured by hot isostatic pressing and hot pressing technology and has the advantages of wide range of component (The content of aluminum is 10% ~ 90at%), high purity and density, fine and uniform grain size and long service life. The typical component of titanium-aluminum target is 33:67at%, 50:50at%, 30:70at%,70:30at% ,20:80at%、40:60at%、50:50at% and so on. The target of special component and specification such as Ti-Al-X (X=Si, Cr, Y, B, V) can also be customized according to the customer's requirements. Currently the typical component of titanium-aluminum-silicon target is 30:60:10at%、40:40:20at%、28:52:20at%、45:45:10at%.

 

钛铝靶
Titanium-aluminum target

性能
Product performance

化学成分/at%
Composition

Ti33Al67

Ti50Al50       

Ti70Al30

纯度/% 
Purity

99.8

99.8

99.8

密度/g/cm3 
Density

≥3.29

≥3.60

≥3.95

晶粒度/μm
Grain size

≤100

≤100

≤100

金属杂质总和/ppm
Total content of metallic impurities

≤2000

≤2000

≤2000

热导率/W/m.K
Thermal conductivity

98

70

40

热膨胀系数/1/K
Coefficient of thermal expansion

1.9×10-5

1.75×10-5

1.35×10-5

规格尺寸/mm
Size

平面靶
Planar target

≤1500×500

≤1500×500

≤1500×500

旋转靶
Rotating target

热等静压整体成形
Integral forming by HIP
长度 Length≤2000
厚度 Thickness≤15

热等静压整体成形
Integral forming by HIP
长度 Length≤2000
厚度 Thickness≤15

热等静压整体成形
Integral forming by HIP
长度 Length≤2000
厚度 Thickness≤15

 

TiAl (20:80at%)

成分(elements)

钛(Ti)

铝(Al)

硅(Si)

铁(Fe)

镁(Mg)

铜(Cu)

锰(Mn)

碳(C)

氯(Cl)

氧(O)

测 试 值(wt%)(Test values)

30.67

69.01

0.075

0.085

0.03

0.002

0.004

0.015

0.013

0.095

密度(g/cm3)(Density)

3.08

 

 

关键词:

铬靶材,铬靶

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